新闻动态   News
联系我们   Contact
你的位置:首页 > 新闻动态 > 最新消息

曝光机用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。

2014/11/5 10:09:17      点击:

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机劳力士手表http://m.wbiao.cn/rolex-watches/械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。

曝光机/光刻机

曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来,70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

基本工作原理

在计算机的控制下,利用聚焦欧米茄手表http://m.wbiao.cn/omega-watches/电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。

应用范围

用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。